德國Pfeiffer HLT 560 氦質譜檢漏儀用于電磁閥閥芯檢漏應用案例—深圳某事業有限公司
一、 電磁閥閥芯檢漏原因:
該客戶是為日本某半導體設備廠生產精密零件激光焊接（電磁閥閥芯）,一共有5個型號,月產量2000-3000個閥. 精密零件激光焊接（電磁閥閥芯）產品如下圖:
由于半導體工業上用的氣體如硅烷（ SiH4）, 氨氣（NH3）等等都是有毒或有腐蝕性的氣體,所以對所用的閥及相關部件, 漏率要求非常嚴格, 要求成品zui終漏率低于5-10 mbar l / s, 而這樣的漏率要求也只有氦質譜檢漏儀能達到了.
二、 電磁閥閥芯檢漏方法
大概的檢測過程為:來料用放大鏡目視檢測,激光焊接完成后再目視檢測,zui后用氦氣質譜檢漏儀做zui后檢測,漏率值以氦氣檢漏儀測出的數據為準.
客戶以前用的是日本某品牌的檢漏儀,現在新上的項目都改為德國Pfeiffer的HLT 560這一款檢漏儀,這是因為,只有德國Pfeiffer的HLT 560能滿足這么高的漏率值測試,且數據可靠.另外還具有操作簡單,生產效率高的優點.
三、電磁閥閥芯檢漏操作說明
1）先將閥接入工裝,形成一個密閉的腔體.再將檢漏儀連接到工裝上.
2）啟動氦質譜檢漏儀, 檢漏儀開始抽取密閉腔體中的氣體,同時顯示一個漏率值.
3）在激光焊縫和懷疑有漏的地方噴氦氣,同時觀察檢漏儀上顯示的漏率值有無變化.
4）如果漏率值上升,說明噴氦氣的地方有漏,該被檢對象質量不合格.如果漏率值能達到要求,該被檢對象合格,檢漏檢測完成.
